纳米压痕仪

主要功能及应用:

仪器具有纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、原位扫描探针成像功能;主要用于薄膜、陶瓷、复合物、聚合物、微机电系统、生物和金属等领域表征微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试等多项纳米力学材料性能参数。

     技术参数：

(1)载荷:10.005mN;

(2}载荷(力量)分辨率:≤1nN;

(3}最大位移:5μm:

(4}最小接触载荷:<-70nN;

(5)扫描频率:0.1 Hz-3.0 Hz;

(6}扫描分辨率:256x256像素点;

(7}原位扫描探针的位置控制精度:±10nm的位置;

(8)最小扫描成像载荷:70 nN。