原子力显微镜

      主要功能及应用:

原子力显微镜是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。能够在气相、液相、真空、高低温等多种环境条件下工作，并且制样简单，操作方便。利用原子力显微镜快速获取样品的高分辨图像，可实现机械性能、电学和化学性能测试。

     技术参数：

    1.X-Y方向扫描范围:90um *90um典型值，最小85um

    2.Z方向扫描范围:10um典型值，在成像及力曲线模式下;最小9.5um

   3.垂直方向噪音基底:<30pmRMS，在合适的环境及典型的成像带宽(达到625Hz)

    4.样品尺寸/夹具:210mm真空吸盘样品台，直径210 mm，厚度15mm

    5.电动定位样品台(X-Y轴):180mm*180mm可视区域；单向2um重复性;双向3um重复性

    6.显微镜光学系统;五百万像素数字照相机，180um至1465um可视范围

    7.震动隔绝:整体式气动减震台