扫描电子显微镜

主要用于材料表面形貌的分析和成分分析（该设备配套布鲁克公司QUANTAX能谱仪），可以观察有机材料、无机材料、生物材料等材料的表面形貌和断口形貌并可对相应区域进行成分分析。

技术参数：

1. SE分辨率：3.0nm(30kv) 高真空模式；10nm(3kv)高真空模式；

2. BSE分辨率：4.0nm(30kv)，低真空模式

3. 放大倍率：x5~x300,000

4. 加速电压：0.3~30kv

5. 低真空范围：6~270Pa

6. 最大样品尺寸：直径200mm

7. 最大样品高度：35mm(WD=10mm)

8. 灯丝：预对中钨灯丝

9. 物镜光栏：可移动式4孔物镜光栏

10.检测器：二次电子检测器；高灵敏度半导体背散射电子检测器