迄今，在非平面基底上制造微细结构的唯一方法是把基底固定在六轴的精密平台上，并使用昂贵的激光直写技术刻蚀图案。然而该方法不仅成本高、效率低，而且无法实现亚微米级精密结构的制造。针对现时仍缺乏有效的曲面加工技术，新研发了一套多功能真空纳米压印系统。这套系统不仅适用于大面积高精度的制造需求，而且适用于多种纳米接触式压印技术，包括：（1）微接触压印技术，（2）紫外微铸模成型技术，（3）纳米尺度热压成型技术。本研究首次把弹性模具应用到真空纳米压印系统中，使其能够在非平面基底上制造二维与三维的微纳结构。此外，上述三种压印技术的结合使得该系统可应用于不同的压印材料（如金属、聚合物），并实现多层结构的制造。这项研究的重要性在于可将许多高精度的接触式印刷方法延伸到实际工程应用中，这将会对精密制造行业产生深远的影响。 | 